盐城上海旋片式真空泵旋片真空泵厂家使用持久详细内容
盐城上海旋片式真空泵旋片真空泵厂家使用持久
真空系统常用名称
①主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
②前级泵:用于维持某一真空泵前级压强其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
③粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。
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